对于 VIM 或 VAR 等再熔冶金应用,Leybold 开发出了具有可靠、耐用设计的工业真空解决方案。这些解决方案具有出色的性能数据,非常适合此类应用。
在传统工艺中,这些应用使用油封旋片式或滑阀真空泵。如今,这些真空泵已被具有更好粉尘处理能力的干式螺杆泵广泛取代。
为了在较低的工作压力下获得所需的高抽速,螺杆泵常与 1-2 级 罗茨泵串联使用。
对于 10-3 mbar(或更低)范围的工艺压强,更加有必要使用油增压泵。这种泵能在这一特定压强范围内提供标杆级抽速,确保获得优质钢材。
真空系统面临的挑战
- 工艺气体中存在粉尘
- 进气温度高
- 残留湿气和腐蚀性气体
- 工艺压强低至 10-4 mbar(取决于特定合金)
为了保护真空系统,需要进行粉尘过滤。由于粉颗粒通常有燃烧风险,因此必须合理设计过滤系统。成功的过滤器设计通常采用“惰性气体反吹”步骤来清洁过滤器表面。